용인공장에 추가 투자…2025년 준공
에스앤에스텍이 극자외선(EUV) 블랭크마스크 생산능력을 확대한다.
에스앤에스텍은 경기도 용인 반도체 산업단지에 위치한 공장에 약 417억원 규모의 신규투자를 진행한다고 4일 밝혔다. 준공 목표 시점은 2025년 말이다.
용인공장은 에스앤에스텍이 2022년 EUV 부품 양산을 위해 200억원을 투자한 곳으로 올해 외형을 완공했다. 에스앤에스텍은 EUV 펠리클에 이어 EUV 블랭크마스크 생산능력 확대를 위해 이번 추가 투자를 결정했다.
EUV 블랭크마스크 생산라인은 대구공장에도 있지만 용인 반도체 벨트에 위치한 고객사 요구에 신속 대응하기 위해 용인공장에 투자한다.
EUV 블랭크마스크는 EUV 노광 공정에서 웨이퍼에 회로를 새기는 데 활용되는 패턴 마스크의 원판이다. 나노미터(㎚) 수준의 얇은 다층막(멀티 레이어) 위에 흡수체인 기반 합금을 다시 적층하는 과정을 거쳐 제작된다. 에스앤에스텍은 2020년부터 EUV용 블랭크마스크를 개발해왔다.
회사 관계자는 “2025년 준공 시점 전까지 EUV 제품 수요는 대구공장에 투자한 장비로 대응하고, 이후 증가하는 시장 수요는 용인공장의 양산 생산라인으로 대응할 계획”이라고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
