도쿄일렉트론코리아는 경기도 화성시에 'TEL 테크놀로지 센터 코리아-2'를 준공하고 가동에 들어간다고 17일 밝혔다.
기존 화성사무소 옆에 연면적 약 3만9200㎡ 규모로 지어졌다. 고객 맞춤형 연구개발(R&D)을 지원하는 거점이 될 예정이다.
구체적으로 고객 웨이퍼를 가공하고(Send Fab) 공정 기술을 개발한다. 또 기존 단위 공정의 평가에서 벗어나 식각·증착·세정 등 여러 공정의 모듈화 개발을 추진하고, 개선이 필요한 부품 평가 작업도 진행한다. 고객사와 대학이 함께 참여하는 3자 협력 연구 방안도 추진 예정이다.
원제형 도쿄일렉트론코리아 대표는 “신속하고 우수한 기술 개발과 서비스 지원으로 반도체 산업의 기반 기술을 강화해 나갈 것”이라고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
