세메스는 한국생산기술연구원(KITECH)과 반도체 제조혁신을 위한 상생협력 업무협약(MOU)을 체결했다고 9일 밝혔다.
이번 협약은 두 기관 간의 기술 교류를 통한 개발과제의 사업화에 목적이 있다고 설명했다. 세메스의 반도체 공정 데이터를 기반으로 △공동연구 △정보교류 △인력교류 등 상호협력 체계를 구축한다.
두 기관은 개발이 시급한 단기 개발 아이템과 중장기 개발 아이템으로 구분해 운영할 방침이다. 인공지능(AI) 제조 기술을 첨단 반도체 장비의 고장모드 예측, 부품교체 주기, 구동시스템 등에 적용할 계획이다.
정태경 세메스 대표는 “첨단 반도체 공정에 AI 응용 기술을 접목해 설비 신뢰성 확보와 생산성 향상 등 제조혁신을 이루겠다”고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
