굴절률 이용한 두께 검사 기술로 반도체 검사에 적용 계획
미크론 단위 검사 가능해 PLP·WLP 제조 검사시에도 유리
스마트폰 카메라 부품제조기업 액트로(대표 하동길)는 한양대 산학협력단과 검사기용 테라헤르츠 특허에 대한 7억원대 기술이전 계약을 체결했다고 15일 밝혔다.
테라헤르츠파(THz)는 적외선과 마이크로파의 중간 영역에 해당하며 약 0.1∼10THz의 주파수를 갖는 전자기파다. 비금속 재료를 잘 투과하며 고해상도 투시가 가능하기 때문에 경량 신소재의 비파괴, 비접촉 검사에 광범위하게 활용 가능하다.
이번에 액트로가 이전 받기로 한 기술은 테라헤르츠파의 굴절률을 이용한 두께 검사 기술이다. 액트로의 전문분야인 자동화 설비 및 검사기술을 바탕으로 반도체 패키지 검사 시스템에 적용시킬 계획이다. 테라헤르츠파를 이용하면 빠르고 정확하게 반도체 에폭시몰딩컴파운드(EMC) 두께를 측정할 수 있다.
테라헤르츠 기술을 활용해 미크론 단위의 정밀급 검사기가 라인에 도입이 된다면 패키징에서 EMC 두께를 현저히 줄일 수 있는 교두보를 마련하게 된다. 또한 대면적 패널레벨패키지(PLP)나 웨이퍼레벨패키지(WLP) 제조에도 유리한 검사방법을 제시하게 된다.
현재 반도체 업계는 전공정의 미세화를 넘어 후공정 기술 개발에 박차를 가하고 있다. 특히 반도체 패키지의 초미세화에 따라 정밀한 검사 시스템의 수요도 커질 것으로 예상된다.
액트로는 최근 반도체 분야 인재를 영업하는 등 적극적으로 패키징 시장 진입을 노리고 있다. 특히, 이번에 액트로의 임원으로 새로 합류한 이병준 사장은 삼성전자 전무, 삼성전기 부사장을 역임한 반도체 분야의 전문가다. 이병준 사장은 앞으로 액트로의 신규 사업 부문을 전담하여 사업 확장에 힘쓸 예정이다.
최근 액트로는 지속적으로 사업 다각화를 시도 중이다. 기존의 강점인 자동화 설비 제작 기술을 바탕으로 한 실리콘 그래핀 코팅 설비 사업 또한 궤도에 안착해 상용화에 박차를 가하고 있다. 다소 부진했던 기존 사업도 손떨림방지(OIS) 부품 및 폴디드줌 물량 확대에 힘입어 상승세에 들어섰다. 액트로는 기존 OEM 사업 분야에서의 입지를 공고히 하고 신규 사업 확장을 통해 기업 가치 제고에 힘쓸 예정이다.
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이경민기자 kmlee@etnews.com
