동일기연은 반도체·이차전지 생산에 쓰이는 초정밀 위치 제어 시스템을 개발했다고 1일 밝혔다.
제품은 반도체 웨이퍼 위에 회로를 그려 넣는 공정에서 회로의 정확한 위치를 파악·제어하는데 특화된 장비다.
독자 보유한 적층 피에조 세라믹 액추에이터(MLA, Multi-Layer Piezo Ceramic Actuator)와 수 마이크론 수준까지 센싱하는 케퍼시터 센서 기술을 중심으로 이번 초정밀 위치제어 시스템을 개발했다고 설명했다.
MLA는 세라믹을 수백 층 이상으로 쌓아 올리고 전압을 가했을 때 정확한 거리나 위치를 측정하는데 특화된 부품이다. 동일기연은 국내에서 유일하게 MLA 기술과 생산 능력을 보유했다.
케퍼시터 센서는 수 마이크론 수준의 움직임을 감지해 반도체 웨이퍼가 미세하게 조정됐거나 흔들렸는지를 센싱한다.
위치 제어 시스템은 반도체 외 이차전지나 디스플레이 생산에도 활용할 수 있다. 동일기연은 고객사 장비 상황과 공정 특성을 고려해 맞춤형으로 시스템을 공급한다는 계획이다.
동일기연 관계자는 “산업용 나노 단위 초정밀 위치 제어 시스템은 미국, 독일, 일본 기업에 의존하고 있다”면서 “장비 국산화로 국내 반도체·디스플레이·배터리 기술 경쟁력 강화에 기여하겠다”고 말했다.
박소라기자 srpark@etnews.com
