네덜란드 반도체 노광장비 업체 ASML은 16일 화성시에서 반도체 클러스터인 '뉴캠퍼스' 기공식을 개최했다. 행사에는 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO), 문동민 산업통상자원부 무역투자실장, 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 수요기업 등 관계자들이 참석했다.
클러스터는 반도체 재제조센터, 트레이닝센터 구축 사업으로 2400억원이 투입된다.
반도체 노광 장비 수리센터, 차세대 반도체 노광 장비 기술센터 등이 들어선다. 2024년 말 완공이 목표다.
ASML은 글로벌 반도체 5대 장비 업체다. 반도체 노광 장비를 독점 생산하는 업체다. ASML 반도체 클러스터가 완공되면 삼성전자와 SK하이닉스는 반도체 노광 장비 수리 소요 기간과 비용을 절감할 수 있을 것으로 기대된다. 연구개발(R&D) 센터 설립될 것으로 기대된다.
국내에서는 삼성전자와 SK하이닉스간 협력 강화를 위한 생산 기지 구축이 활발하다. 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT), ASML, 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL), KLA 등 5대 장비사 지난해 시장 점유율은 70%에 육박했다.
ASML이 만드는 노광 장비는 반도체 집적회로 미세한 회로패턴을 새긴다. 삼성전자, SK하이닉스, TSMC, 인텔에 첨단 반도체 생산을 위해 극자외선(EUV) 노광 장비 공급을 확대하고 있다. 차세대 EUV 노광 장비 개발을 위한 투자도 확대하고 있다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
