큐알티가 원자현미경(AFM)을 이용해 표면 분석 서비스를 강화한다. AFM은 시료 형상과 물성을 나노미터(nm) 수준까지 계측 분석하는 장비다. 최고 수천만 배 배율로 문제가 발생한 형상과 크기, 깊이 등을 세밀하게 파악한다.
큐알티는 AFM 기반 표면 분석 서비스는 0.05nm급 정밀도로 옹스트롬(0.1nm) 단위의 분석이 가능하다고 설명했다. 시료 표면의 거칠기, 저항, 정전용량, 전기전도 등 분포 이미지를 구현한다. 반도체 초미세 구조 단면에서 도핑 농도 프로 파일 이미지도 취득할 수 있다.
큐알티는 해당 서비스를 이용해 반도체 박막, 글라스 기판, 광학 렌즈 등 거칠기를 분석한다. 반도체, 마이크로 LED, 이차전지 소재 분석 서비스도 제공하고 있다.
큐알티가 사용하는 AFM은 파크시스템스의 NX20다. NX20는 완전 비접촉 모드 기능이 탑재됐다. 다른 부품과 맞닿지 않아 손상을 주지 않으며, 고감도 시료 표면의 정확한 높이를 측정할 수 있다.
큐알티 관계자는 “반도체 불량 분석, 회로 수정 기술 분야 전처리 노하우에 첨단 AFM 장비를 더해 정확한 분석 결과물을 확보할 수 있다”며 “큐알티의 차별화된 분석 경쟁력을 유지 확장해 나갈 수 있도록 역량을 집중할 것”이라고 전했다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
