유니테스트가 메모리 반도체 웨이퍼 검사장비를 개발했다. 국내 D램 메모리 반도체 생산라인 적용을 목표로 품질성능 평가를 하고 있다. 웨이퍼 검사장비는 메모리 웨이퍼 원판 상태에서 성능을 검사하는 장비다. D램 웨이퍼 전기적 특성과 불량률을 검사한다. 장비는 와이아이케이가 삼성전자와 함께 처음 국산화했다.
삼성전자와 SK하이닉스는 D램, 낸드 플래시 등 메모리 반도체 수요 증가와 이에 따른 성능 개선으로 테스터 장비 사용량이 늘고 있다. 유니테스트 웨이퍼 테스터는 웨이퍼 패키징 전 단계의 작동 유무를 검사한다. D램 메모리 테스터로 회로도가 그려진 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 기능을 갖췄다. 메모리 웨이퍼는 회로 주변부 미세 성능 테스트를 여러 번 거쳐야 한다.
삼성전자와 SK하이닉스는 그동안 일본 어드반테스트, 미국 테러다인 등 해외 업체의 장비를 주로 사용했다. SK하이닉스는 메모리 반도체 수요 증가와 성능을 강화하기 위해 검사장비 분야에서 기존 협력사인 유니테스트를 비롯해 국내 장비 업체와의 협력을 강화하고 있다.
삼성전자 협력사인 와이아이케이는 2013년 메모리 테스터 장비를 처음 공급하고, 2016년 낸드 플래시 메모리 테스터도 상용화했다. 매출 70% 이상이 삼성전자 검사장비 분야에서 발생하고 있다. 와이아이케이는 낸드 플래시 측정 성능을 강화하면서 테스트 검사 속도를 올린 스피드 낸드 테스터를 개발하고 있는 것으로 알려졌다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
