과학기술정보통신부와 나노종합기술원은 반도체 소부장 12인치 테스트베드 서비스 개시 1주년을 맞아 2022년 26일 엘타워에서 그간의 반도체 소부장 국산화 지원성과 등을 공유하는 성과보고회를 개최했다.
나노종기원의 반도체 테스트베드는 2019년도 일본 수출규제에 대응해 국내 소부장 기술자립화를 위해 과기정통부의 지원으로 신속히 구축, 작년 3월부터 서비스를 제공하고 있으며, 기업들과 나노종기원이 공동으로 반도체 소부장 국산화를 추진하고 있다.
이날 행사에서는 테스트베드 구축 및 운영실적(지난해 말 기준 62개 기업, 1226건) 보고와 함께 지난 1년동안의 소부장 기술자립화 우수성과로 '반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템 상용화(코리아스펙트럴프로덕츠)' '반도체 PECVD 장비 국산화(아이에스티이)' 사례 등을 발표했다.
이밖에도 ArF Immersion용 반도체 소재(감광제, 반사방지막 등), 12인치 DRIE 식각장비 등 12개의 반도체 소부장 연구성과가 함께 전시돼 산학연 관계자들이 관람하고 성과를 공유할 수 있도록 했다.
한편 나노종기원은 코로나19 등 국민건강 대응 및 맞춤형 디지털 헬스케어를 위한 반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발사업(2021~2025)을 통해 개발한 플랫폼기술과 상용화 연구성과도 발표했다.
특히 나노종기원 기술을 이전받아 세계 최초로 진단키트에 반도체 공정기술을 적용한 감염병 진단키트 상용화기술 개발(마라나노텍코리아) 진행상황도 소개됐는데, 가격은 기존 PCR 대비 10배 저렴하면서 90% 이상의 정확도를 갖는 신속진단키트에 도전한다.
나노메디컬 분야에서는 기능 고집적 모듈형 바이오칩 플랫폼, 나노메디컬 센서 플랫폼 등 3개 플랫폼 기술개발 성과와 3세대 통합형 디지털 PCR 제품 개발 등 2개 제품개발 성과가 전시됐다.
이날 행사에서는 나노종기원 주요 지원성과 발표 및 전시 외에도 우수 이용고객과 협력사에 대한 시상도 있었는데, 이는 향후 수요기업들과의 상생협력과 동반성장 문화조성의 일환으로 진행됐다.
우수연구상은 마라나노텍코리아, 코리아스펙트럴프로덕츠 등 4개 팀에, 우수협력사는 러셀, EVG코리아에 수여했다.
이조원 나노종기원 원장은 “국가 핵심 나노인프라 및 반도체 테스트베드라는 나노종기원 역할과 책임을 다하여, 국가 나노기술 혁신과 반도체 소부장 국산화를 이끌어 나가는 핵심기관으로 거듭나겠다”고 밝혔다.
김영준기자 kyj85@etnews.com
