나노종합기술원(나노종기원)이 넥스틴 반도체 검사 장비(인스펙션)를 도입, 12인치 웨이퍼 기반 테스트베드 서비스를 고도화한다. 12인치 패턴 웨이퍼 제작 중심에서 이물질 및 회로 오류 검사까지 서비스 범위를 확대할 수 있게 돼 국내 반도체 제조 기업의 제품 상용화 속도를 앞당길 전망이다.
나노종기원은 최근 넥스틴 반도체 검사 장비 '이지스(AEGIS)'를 도입하고 테스트베드 서비스를 개시했다고 7일 밝혔다. 넥스틴 이지스는 반도체 웨이퍼 결함을 검사하는 장비로, 고해상도 광학기술을 활용해 웨이퍼 이물질(파티클)이나 10나노대 초미세 패턴 결함을 파악할 수 있다. 8인치(200㎜)와 12인치(300㎜) 웨이퍼 모두 검사할 수 있어 범용성이 뛰어나다.
나노종기원은 반도체 장비·시설 공동 활용으로 연구개발(R&D) 및 중소·벤처기업 제품 상용화를 지원하는 기관이다. 지난 3월 반도체 클린룸과 핵심 장비 10대를 도입해 12인치 반도체 테스트 베드를 구축했다. 기존 8인치 웨이퍼 기반 서비스를 확대해 첨단 공정 테스트베드 환경을 조성하기 위해서다. 국내 산업계와 학계, 연구계의 12인치 웨이퍼 기반 반도체 제조 및 연구개발(R&D) 수요에 대응하려는 조치다.
그러나 12인치 서비스는 회로를 그린 패턴 웨이퍼 제작이나 소재 평가에 제한됐다. 제품 양산에 결정적 영향을 미치는 패턴 웨이퍼 오류와 이물질 검사에는 한계가 있었다. 이에 나노종기원은 반도체 제조사들의 수요를 고려해 넥스틴 반도체 검사 장비 도입을 결정했다.
국내 소재·부품·장비 업체는 나노종기원 서비스 확대로 삼성전자나 SK하이닉스 등 대기업 생산 환경과 유사한 반도체 공정 테스트 결과를 얻을 수 있을 것으로 기대된다. 반도체 제품 상용화 속도도 빨라질 전망이다. 넥스틴 관계자는 “나노종기원 공정 서비스가 한 차원 높아질 것”으로 기대했다.
나노종기원은 12인치 테스트베드용 반도체 장비 도입을 확대할 방침이다. 나노종기원 관계자는 “반도체 대기업의 유휴 장비를 매입해 나노종기원 테스트베드에 맞게 최적화하는 방안 등 다양한 방법으로 장비를 늘려가며 서비스 범위를 확대할 계획”이라고 말했다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
