인테그리스(한국대표 김재원)는 수원 광교 한국기술센터에 화학기계연마(CMP) 슬러리 필터 테스트 장비를 도입했다고 16일 밝혔다.
인테그리스 한국기술센터는 반도체 필터 테스트, 첨단 증착 소재, 표면 처리, 집적에 대한 연구 장비와 전문가를 갖춘 연구시설이다. 이번 확장에 따라 반도체 공정에서 사용하는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트, CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 됐다.
CMP 슬러리 필터 테스트는 반도체 공정에서 오염물질을 제어하는 인테그리스 '클린 케미컬 딜리버리 솔루션' 핵심 구성 요소다. 첨단 노드와 핵심 반도체 공정의 높은 수율, 신뢰성과 성능 요구를 충족하는데 중요한 역할을 한다.
한국기술센터는 국내 주요 벌크 슬러리 제조사를 비롯해 종합반도체(IDM) 고객사와 함께 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 마쳤다. 고객사 공정에 가장 적합한 CMP 슬러리 여과 솔루션을 제공하고 고객사는 신기술에 도입할 제품 선정 시간을 단축할 수 있게 됐다. 또 한국기술센터 전문가가 보유한 연구 지식과 노하우로 고객사가 더 높은 수준의 미세오염 제어를 달성하도록 지원하고 있다.
인테그리스는 한국기술센터 외에 화성(장안), 원주(문막), 수원에 제조·서비스 시설을 보유했다. 지난 5월에는 내년 2분기 가동 예정인 최신 첨단 드럼제조 시설 증설에 투자했다.
배옥진기자 withok@etnews.com
