세메스(대표 김용식)는 반도체 세정 설비 '로터스'로 IR52 장영실상을 수상했다고 21일 밝혔다.
과학기술정보통신부가 주최하는 IR52 장영실상은 우수 신기술 제품과 기술혁신 성과가 뛰어난 조직을 선정, 포상한다.
로터스는 반도체 클린공정에서 웨이퍼 표면의 박막물질이나 불순물(파티클)을 제거하는 설비다.
세계 최초로 19㎚ 미세공정용으로 개발됐으며, 챔버수를 8개에서 12개로 늘렸다. 시간당 웨이퍼 처리속도와 용량이 500장 이상이다.
김용식 대표는 “로터스는 세계 시장 1위를 목표로 개발된 설비”라며 “향후 반도체 장비 시장에서 설비 성능 향상뿐만 아니라 디자인 측면에서도 우수한 신개념 설비를 지속적으로 선보이겠다”고 말했다.
IR52 장영실상 시상식은 22일 열린다.
윤건일 전자/부품 전문기자 benyun@etnews.com
