국제반도체장비재료협회(SEMI)는 4일 반도체 장비안전 국제표준인 'S2'의 한글 개정판을 이달 발간한다고 밝혔다.
삼성전자와 SK하이닉스, 세메스, ASM 등 국내외 반도체 생산, 장비 제조사 관계자가 번역에 참여해 품질을 높였다고 SEMI는 설명했다.
반도체는 제조 과정에서 화학물질을 쓴다. 장비에 결함이 생겨 화학물질이 누출되면 큰 피해가 발생할 수 있다. 이 때문에 장비 설계, 제작 단계부터 특별한 안전 관리가 필요하다. SEMI는 45년간 모든 유형의 반도체 장비에 필요한 환경, 보건, 안전 요건을 정의하는 26건의 안전 가이드라인을 개발했고, 이를 표준화했다.
SEMI 관계자는 “2013년부터 지속적으로 이 표준의 한글화 작업을 해오고 있다”면서 “아울러 이 표준을 읽어야 하는 담당자들을 위해 분야별 교육을 연 2회씩 진행 중”이라고 설명했다.
S2와 연계되는 표준의 한글화 작업도 이뤄진다. 올 해 말에 ▲SEMI S6-0707 반도체 제조 장비 배기에 대한 환경안전보건(EHS) 가이드라인 ▲SEMI S14-1016 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인 ▲SEMI S10-0815 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 가이드라인이 한글판으로 발간될 예정이다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
