반도체 공정 관리 업체 KLA텐코는 패턴 웨이퍼 형상 계측 시스템 ‘웨이퍼사이트(WaferSight) PWG’를 비롯해 노광·패턴 검사용 장비 신제품 3종을 출시했다고 27일 밝혔다.
웨이퍼사이트 PWG와 함께 나온 레티클 패턴 레지스트레이션 측정 시스템 ‘LMS IPRO6’, 데이터 분석 시스템 ‘K-T 애널라이저(Analyzer) 9.0’ 등 세 제품은 KLA텐코의 5차원(5D) 패터닝 제어 솔루션을 지원해 20나노(㎚) 이하 반도체 공정에 적합한 시스템이다. 기존 공정 장비를 활용해 더블패터닝기술(DPT), 쿼드러플패터닝기술(QDT) 등 첨단 패터닝 기법을 사용할 수 있게 돕는다.
웨이퍼사이트 PWG는 패턴이 그려진 웨이퍼를 수직으로 세워 웨이퍼 앞뒷면의 기하학(Geometry)을 측정해 공정 진행에 따른 웨이퍼의 변화나 오류를 검사하는 장비다. LMS IPRO6는 웨이퍼에 패턴을 그릴 때 오버레이(Overlay) 오류를 내는 원인인 레티클 패턴을 통제·제어해 레지스트레이션을 분석하는 시스템이다. K-T 애널라이저 9.0은 웨이퍼 전체에 대한 측정 데이터 없이 패턴 오버레이 오류를 줄일 수 있는 기능을 탑재했다.
김주연기자 pillar@etnews.com
