케이맥이 세계 최초로 상용화에 성공한 반도체 극초박막 분석장비가 글로벌 반도체 업계로부터 호평을 받았다.
케이맥은 지난달 미국 샌프란시스코에서 개최된 `세미콘 웨스트 2013`에서 반도체 극초박막 분석장비 `나노 마이스(Nano-MEIS)`를 출품해 인텔 등 세계적 반도체 IT 업체로부터 큰 주목을 받았다고 26일 밝혔다.
나노 마이스는 반도체 성능에 영향을 미치는 미세영역을 정확히 측정할 수 있는 반도체 초정밀 분석기기다. 극한 미세 영역을 측정해 반도체 웨이퍼 테스트 패턴 분석에도 사용할 수 있도록 제품을 설계해 반도체 표면 분석의 새 지평을 열었다는 평을 받았다.
행사에 참여한 인텔은 당시 향후 7㎚ 공정에 대한 분석·제조 측정기술 관련 반도체 설비 업체의 기술력을 확인하는 `서플라이어 인콰이어` 프로그램을 진행했다. 사전 평가를 통해 반도체 설비업체 9곳이 선정됐고, 한국 업체로는 유일하게 케이맥이 선정돼 미팅에 참여했다. 인텔은 케이맥의 `나노 마이스`에 높은 관심을 보였고, 향후 구매 및 실 공정에 적용하기 위한 추가 자료를 케이맥에 요청했다.
케이맥은 행사 기간에 동시에 진행된 반도체 관련 산학연 컨소시엄 `SEMATEC` 포럼에도 나노 마이스 기술을 소개해 당시 참석한 엔지니어 및 관계자로부터 큰 주목을 받았다.
이중환 사장은 “인텔을 비롯한 다양한 글로벌 반도체 기업으로부터 전시회 기간 동안 나노 마이스에 대한 기술 및 제품 구매 문의를 받아 협상 중”이라며 “이번에 구축한 글로벌 네트워크를 적극 활용해 반도체 검사장비 시장 진출을 가속화할 것”이라고 말했다.
대전=신선미기자 smshin@etnews.com
