반도체 공정에 사용되는 유해 가스를 안정하게 관리, 운송할 수 있는 기술이 대거 공개됐다.
반도체 재료 업체 ATMI는 그랜드인터컨티넨털 호텔에서 기자간담회를 열고 새로운 반도체용 가스 시스템과 반도체 패키징 기술을 세미콘2013에서 공개한다고 30일 밝혔다.
ATMI가 자신있게 내놓은 제품은 SDS 가스 실린더와 브라이트팩(BrightPak) 보틀 패키징이다.
SDS 가스 실린더 시스템은 반도체 이온 주입 공정 중 유해 가스를 안전하게 관리, 운송하는 기술이다. 대기압보다 낮은 압력으로 가스를 주입해 밸브가 열리거나 용기가 깨져도 유해 물질이 누출되지 않는다.
브라이트팩 보틀 패키징은 강한 충격에도 화학약품을 안전하게 보관하며, 고순도를 유지한다. 용기 안에 있는 별도의 비닐팩에 화학 약품이 보관된다. 용기와 비닐팩 사이에 공기를 주입하면 화학약품이 밖으로 나오는 방식이다. 기존 유리병보다 훨씬 가볍고 안전하며, 내구성도 뛰어나다.
원철우 ATMI코리아 회장은 ATMI는 “회사 내 한국지사의 연구개발 및 생산 비중이 점차 커지고 있다”며 “한국 시장에 적극 대응하기 위해 현지화에 더욱 신경쓸 것”이라고 말했다.
ATMI코리아는 수원 나노소자특화팹센터에 자체 연구개발센터를 구축해 재료 연구와 개발을 병행하고 있다. ATMI 지사 중 연구개발과 생산 모두를 담당하는 곳은 한국뿐이다.
이형수기자 goldlion2@etnews.com
