포항나노기술집적센터(센터장 박찬경)는 2007년 5월 개소, 반도체 전공정 및 디스플레이 장비와 특성평가 장비 등 176종을 갖추고 기업지원서비스를 활발히 진행하고 있다.
센터는 주관기관인 포항공대를 중심으로 지경부와 경북도, 포항시, 테크노파크, 대학, 기업 등 136개 기관이 컨소시엄으로 참여중이다. 총 사업비 1129억원을 들여 연건평 1만2827㎡ 공간에 클린룸동과 연구개발동, 지원동을 갖췄다.
나노인프라를 활용, R&D공정 및 특성평가뿐만 아니라 월 5000매 이상의 8인치 웨이퍼 공정을 갖추고 기업과 공동으로 저전력 반도체를 직접 생산하고 있다.
중점지원분야는 첨단 시설과 장비, 인력, 기술을 활용해 산·학·연 공동원스톱 서비스를 지원하며, 중소기업 대상 나노기술산업화지원, 연구개발 지원, 성능평가, 인증서비스, 특허분쟁 지원, 인력양성 등에 나서고 있다.
주요 기술개발분야중 반도체분야는 포항가속기연구소 극자외선을 활용한 `차세대 반도체 기술개발 및 실리콘 카바이드 전력소자` `갈륨나이트라이드 전력소자` 등 공정기술개발을 지원한다.
디스플레이분야는 유기발광 다이오드, 유기박막 트랜지스터, 휘어지는 디스플레이분야 기술개발을 지원하고, 특성평가로는 나노원천·융합소재, 나노단위 3차원 입체분석기술을 지원중이다.
나노융합상용화플랫폼사업으로는 2010년부터 오는 2015년까지 7개 기업과 상용화 제품개발을 진행하고 있다. 특히 알파플러스와 공동개발한 증발소스 기술은 해외수주와 대기업 납품 승인을 받았고, 파워솔루션은 창업 2년만에 기술개발 및 제품을 양산해 최근 수출 100만달러를 기록하기도 했다. 센터는 나노융합상용화플랫폼 촉진 및 활용사업이 성공적으로 추진되면 참여기업의 매출이 연간 500억원에 달할 것으로 기대하고 있다.
장비를 이용한 시험분석과 평가서비스 성과도 탁월하다. 센터는 시범서비스를 시작한 지난 2008년 이후 전국 207개 기관이 3만8200여건에 달하는 이용실적을 올렸고, 이를 통한 누적 장비 사용료 수익은 104억원에 이른다.
박찬경 센터장은 “개소 10주년인 내년부터는 기업에 실질적인 서비스가 가능한 분야를 지속적으로 발굴하겠다”며 “이를 기반으로 센터가 세계 10위권 연구거점, 서비스지원 나노인프라로 거듭나도록 노력하겠다”고 말했다.
대구=정재훈기자 jhoon@etnews.com
