관련 통계자료 다운로드 세계 반도체 장비 상위 10대 업체 현황 글로벌 반도체 장비업계 간 몸집 불리기 경쟁이 확대됐다. 어플라이드머티리얼즈, 램리서치 등이 지난해부터 인수합병(M&A)을 통해 규모를 늘린 데 이어 세계 3위 장비업체인 일본 도쿄일렉트론도 관련 업체를 잇따라 인수하면서 세 확대 대열에 합류했다.
15일 일본 주요 언론에 따르면 도쿄일렉트론(TEL)이 13일(현지시각) 미국 나스닥에 상장된 반도체 세정장비 전문업체 FSI인터내셔널을 인수한다고 밝혔다. FSI인터내셔널은 매출 9690만달러, 직원 수는 400여명(2011년 8월 기준)에 달하는 기업이다. 인수금액은 2억5250만달러(약 2850억원)로 올해 말까지 100% 자회사로 편입시킬 계획이며 직원과 생산 라인은 현재 상태로 유지하게 된다.
가트너에 따르면 FSI인터내셔널은 반도체 세정장비 분야 세계 점유율 3%로 5위에 랭크돼 있다. 도쿄일렉트론은 이번 인수로 관련 점유율이 16%에서 20%로 뛰어오른다. 이를 통해 점유율 56%로 이 분야를 리딩하고 있는 다이니폰스크린제조를 본격적으로 추격할 방침이다. 세정장비는 차세대 반도체의 핵심인 미세기술 개발의 핵심 공정에 적용되며 향후 비중이 계속 높아질 것으로 전망된다.
도쿄일렉트론은 올해 초 스위스 태양전지 제조 장비업체인 올리콘 솔라(Oerlikon Solar)를 225억엔에 인수한다고 발표했다. 이어 5월에는 미국 넥스시스템즈를 158억엔에 매입했다.
이 회사는 도포와 현상 장비 부문에서는 시장점유율 85%로 선두를 유지하고 있다. 올해 추진한 인수합병은 성장성은 높지만 취약했던 사업 부문을 외부 수혈을 통해 강화하기 위한 전략으로 풀이된다.
이 같은 규모의 경쟁은 대형 반도체 장비업계에 유행처럼 확대되고 있다. 지난해 11월 어플라이드머티리얼스는 전공정 장비업체 배리안세미컨덕터를 42억달러에 인수했다. 올 초에는 세계 5위 반도체 장비업체 램리서치가 10위 업체인 노벨러스시스템즈의 지분을 인수해 최근 조직을 통합했다. 또 지난해 7월에는 일본 반도체 검사장비 전문업체인 아드반테스트가 11억달러에 미국 장비업체인 베리지를 인수한 바 있다.
[표] 세계 반도체 장비 상위 10대 업체 현황 (단위: 백만달러)
서동규기자 dkseo@etnews.com
