450㎜ 웨이퍼용 노광기 상용 장비 공동 개발
인텔이 차세대 반도체시장 선점을 위한 제휴선을 확대했다. 세계 최대 반도체 노광장비업체 ASML과 손을 잡은 데 이어 2위 업체와도 힘을 합쳤다. 인텔은 공동 기술 개발을 위해 대규모 자금도 지원해 노광장비업체간 신기술 개발 경쟁을 유도한다는 전략이다.
8일 니혼게이자이는 인텔과 반도체 노광장비 세계 2위 업체 니콘이 차세대 반도체 노광기(스테퍼)를 공동 개발한다고 보도했다. 양사는 오는 2018년까지 450㎜ 웨이퍼용 노광기 상용 장비를 선보일 계획이다.
앞서 인텔은 최근 반도체 노광장비 세계 점유율 80%에 달하는 네덜란드 ASML과도 차세대 장비 공동 개발에 들어갔다. 인텔은 ASML 지분 인수와 개발 지원을 위해 총 41억달러를 투자하기로 했다.
인텔이 ASML에 이어 동일한 제품을 개발하는 니콘과 손을 잡은 것은 장비업체 간 개발 경쟁을 유도해 신기술을 빠른 시간 내에 확보, 차세대 반도체 시장 선점을 위한 전략으로 풀이된다.
니콘은 이번 협력으로 ASML보다 빨리 상용 제품을 내놓는 것이 목표다. 인텔은 ASML과 마찬가지로 니콘에도 수백억엔에 달하는 개발 자금을 지원하기로 했다.
니혼게이자이는 기술력이나 시장 지배력을 놓고 볼 때 니콘이 ASML를 앞서 차세대 장비를 내놓을지는 미지수라고 평가했다. 주류인 300㎜ 웨이퍼 시장에서 ASML이 독보적인 시장 점유율을 유지하고 있는데다 최근 대만 TSMC도 5% 지분 인수와 개발비 지원을 약속하면서 인텔-ASML 컨소시엄에 합류했기 때문이다.
삼성전자도 조만간 ASML 지분 인수와 개발 참여를 결정할 것으로 예상돼 인텔-ASML 컨소시엄은 글로벌 최대 반도체 칩 업체와 장비 업계를 모두 아우르는 매머드 급으로 부상할 전망이다.
서동규기자 dkseo@etnews.com
