글로벌 반도체·디스플레이 장비업체 어플라이드머티어리얼즈는 차세대 휴대용 컴퓨터와 TV에 적용되는 고성능·고해상도 디스플레이 제조를 위한 새로운 플라즈마화학증착기(PECVD) 기술을 선보인다고 20일 밝혔다.
어플라이드머티어리얼즈 AKT-PECVD 시스템에 적용되는 이번 PECVD는 금속 산화막 트랜지스터에 수소 불순물을 최소화시킬 수 있는 절연막 계면을 제공, 트랜지스터 안정성을 높이고 스크린 성능을 최적화시킨다고 회사 측은 설명했다.
이와 함께 어플라이드머티어리얼즈는 금속 산화막 제조에 적용할 증착 기술을 포함하는 새로운 물리기상증착(PVD) 솔루션을 개발 중이다. 이번 신형 PVD 솔루션은 최신 회전 음극 배열 기술을 적용해 기존 솔루션에 비해 낮은 제조비용으로도 높은 수율의 활성층 증착이 가능하다.
서동규기자 dkseo@etnews.com
