반도체 소자는 물론, 태양전지, 광학장치, 센서 등 각종 디바이스의 집적도 및 효율을 높일 수 있는 기술이 개발됐다.
포항가속기연구소(PAL 소장 이문호)의 황찬국 박사팀이 가속기의 극자외선을 이용해 펜타센 나노패턴 기술을 개발했다고 29일 밝혔다.
반도체의 실제 적용뿐만 아니라 각종 디바이스의 효율성 개선에 기여할 전망되는 이번 연구성과는 미국화학회에서 발행하는 나노분야의 세계적인 권위지 `에이씨에스 나노(ACS Nano)` 9월호에 게재된다.
황 박사팀은 펜타센 분자가 극자외선에 의해 상호결합이 일어난다는 사실을 확인하고, 이를 이용해 나노미터 크기에서 높이와 폭의 조절이 가능한 30㎚급 분자 패터닝에 성공했다.
이번에 개발된 펜타센 나노패턴 기술은 진공상태에서 성장된 펜타센 분자막을 사용, 보다 깨끗하고 안정성이 커 친환경적이라고 할 수 있다.
황 박사팀은 지난 2007년 5월 포항방사광가속기에서 나오는 극자외선을 이용한 새로운 분자 패턴조작기술을 개발해 `어드밴스드 머터리얼스(Advanced Materials)`에 논문을 게재한바 있다.
이번 연구는 지난 연구에서 더 나아가 반도체 분야의 실질적인 적용이 가능하게 돼 향후 메모리, 태양전지, 광학장치, 센서 등 각종 디바이스의 집적도 및 효율을 높이는데 응용될 수 있을 것으로 기대된다.
포항=정재훈기자 jhoon@etnews.co.kr
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