크린시스템, 고성능 과불화탄소 처리기 개발

크린시스템코리아는 반도체 공정에서 배출하는 과불화탄소(PFCs)를 처리할 수 있는 고효율 · 저비용 하이브리드 플라즈마 스크러버(회전집진장치)를 개발했다고 1일 밝혔다.

환경부와 환경산업기술원의 지원을 받아 크린시스템코리아 기술연구소가 개발한 이 기술은 과불화탄소 가스 가운데 가장 분해가 어려운 사불화탄소(CF4)와 육불화황(SF6)을 처리할 수 있다.

기존 과불화탄소 처리에 사용하던 배기가스 스크러버는 처리용량이 분당 100ℓ 정도로 매우 낮고 처리효율도 90% 정도였다. 반면에 하이브리드 플라즈마 스크러버는 플라즈마와 탄화수소연료 연소의 조합을 통한 상승효과를 이용, 처리용량이 분당 1000ℓ로 10배나 늘었고 처리효율도 95%에 이른다.

또 매우 콤팩트한 디자인으로 작은 공간에도 설치가 가능해 설치비용은 50% 이상, 운영비용은 20% 이상 절감할 수 있다.

김승곤 크린시스템코리아 기술연구소장은 “이번에 개발한 하이브리드 플라즈마 스크러버는 지구온난화 물질인 과불화탄소 가스를 대용량으로 완벽하게 분해할 수 있는 세계 최초의 기술”이라며 “각종 국제 환경규제에 능동적으로 대처할 수 있어 정부의 녹색성장 정책에 크게 이바지할 것”으로 기대했다.

함봉균기자 hbkone@etnews.co.kr