삼성전자 LCD사업부와 KAIST가 3년간의 연구 끝에 나노기술 분야의 오랜 난제를 풀었다.
KAIST(총장 서남표) 신소재공학과 김상욱 교수팀은 삼성전자 LCD사업부(사장 장원기)와 분자자기조립현상과 디스플레이용 광리소그라피 공정을 융합하는 방법으로 나노기술의 오랜 난제로 여겨지던 `저비용 대면적 나노패턴` 제조에 성공했다고 23일 밝혔다.
연구진은 저비용 패턴공정인 디스플레이용 광리소그라피로 대면적에서 마이크로미터(1㎛=100만분의 1m) 크기의 패턴을 만든 후, 분자조립현상을 이용해 수십 나노미터(1㎚=10억분의 1m) 크기의 패턴으로 밀도를 100배 이상 증폭시키는 방식으로 대면적에서 잘 정렬된 나노패턴을 구현해 냈다.
이 방법은 기존 나노패턴기술에 비해 단순하고 공정비용이 저렴한데다 넓은 면적에서 연속 공정이 가능해 차세대 반도체나 디스플레이 분야에 폭넓게 이용될 수 있을 것으로 기대된다.
최근 나노 분야에서는 최신 반도체 공정으로도 만들기 힘든 수~수십 나노미터 크기의 미세한 점이나 선 등을 쉽고 값싸게 제조할 수 있는 블록공중합체가 새로운 나노패턴소재로 각광받고 있다.
그러나 블록공중합체 나노패턴은 배열이 불규칙하고 결함이 많아 이를 반도체나 디스플레이에 이용하기 위해서는 패턴 정렬 기술 개발이 절실했다.
연구책임자인 김상욱 교수는 “이번 연구결과는 분자조립 나노패턴기술을 저비용, 대면적화 함으로써 실제 나노소자공정에 이용할 수 있는 가능성을 크게 높였다는데 의미가 있다”고 말했다.
이 연구는 김 교수와 KAIST에서 박사과정을 마친 후 미국 UC 버클리대에서 박사후연구원(Post doc)으로 근무중인 정성준 박사가 주도했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr
