보도(월)/글로벌파운드리즈, 독일 1공장서 22나노 CMOS 공정 양산 채비

　중동 오일 머니가 출범시킨 세계 3위 파운드리업체 글로벌파운드리즈가 독일 1공장에서 처음 상업 생산을 시작할 전망이다.

　14일 외신에 따르면 글로벌파운드리즈는 독일 드레스덴의 1공장에서 22나노 상보성금속산화물반도체(CMOS) 양산을 위해 공정 작업을 진행 중이다. 당초 글로벌파운드리즈는 미국 뉴욕주의 8공장에서 22나노 및 차세대 공정의 반도체를 생산할 것으로 알려졌다.

　이에 따라 독일 드레스덴 1공장은 글로벌파운드리즈가 공식 출범한 뒤 신제품을 양산하는 첫 생산라인이 될 것으로 보인다.

　드레스덴 1공장에서는 고성능 회로를 구현할 수 있는 4이중막 실리콘(SOI) 웨이퍼를 생산 중이며, 지금까지 32·28나노 CMOS 공정 전환을 서둘러 왔다.

　그러나 22나노 CMOS 공정이 ‘게이트-퍼스트/하이-K 메탈게이트’로부터 이탈을 포함하는지 여부는 알려지지 않았다.

　 서한기자 hseo@etnews.co.kr