SEMI, 9가지 새 기술 표준 발표

세계반도체장비재료협회(SEMI)는 1일 반도체·MEMS·평판디스플레이·태양광 분야에 적용될 수 있는 9가지 새로운 기술 표준을 발표했다. 이번에 나온 기술 표준은 컬러필터 어셈블리의 색상 구현 성능 평가방법에서 450㎜ 반도체 웨이퍼 로드 포트를 위한 기계역학적 규격, 태양광 모듈용 고순도 웨이퍼의 테스트 방법에 이르기까지 반도체·LCD·태양광 분야를 망라한다.

특히 전세계 태양광 산업에서 고순도 웨이퍼 관련 기술 표준으로는 처음이자 유일하다.

이번 9개 신규 기술 표준과 함께 SEMI는 반도체 장비가 양산 라인에 구축되기 전 발생할 수 있는 안전평가에 관한 기준인 ‘S7’도 개정판을 발표했다.

SEMI는 지난 1973년부터 장비·재료·소자 업계 전문가들로 구성된 국제표준화프로그램을 운영중이며, 지금까지 780개가 넘는 기술 표준을 수립한 바 있다. 현재 2600여명의 전문가 그룹이, 19개 기술위원회를 운영중이다.

SEMI의 기술 표준 개정 내용은 인터넷 홈페이지(www.semi.org)를 통해 확인할 수 있다.

서한기자 hseo@etnews.co.kr