제일모직, ‘반도체 웨이퍼 연마제 특허 침해’ 승소

제일모직(대표 황백)은 미국 캐보트 마이크로일렉트로닉스와의 반도체 웨이퍼 연마제 특허 침해 항소심에서 승소했다고 7일 밝혔다.

서울 고등법원 제4민사부는 판결문에서 “제일모직의 제품은 반도체 기판 제조기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있는 자유 기술에 해당하므로, 원고의 특허권을 침해했다고 할 수 없어 원고의 항소를 기각한다”고 판결했다.

반도체 웨이퍼 연마용 슬러리(Slurry)는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄하게 하는 재료로 반도체 고집적화의 핵심 소재 기술이다. 현재 캐보트와 일본 히타치 등이 세계 시장을 선점하고 있으며, 제일모직은 2003년부터 삼성전자에 제품을 공급하며 시장에 진출했다.

이번 판결은 특허법원에서 진행 중인 캐보트의 특허 유·무효 심판에 관계 없이 특허권 침해사건 재판부인 서울고등법원이 제일모직의 제품이 자유실시 기술로 특허를 침해하지 않았다고 판결했다는 점에서 주목된다.

제일모직 측은 “이번 항소심 승소로 현재 진행 중인 특허 무효 2심 심판에서도 유리한 고지를 점하게 됐다”며 “자체 기술력을 바탕으로 반도체 소재 시장에서 안정적으로 제품 공급에 나설 것”이라고 밝혔다.

제일모직은 슬러리 부문에서 지난해 400억원 가량 매출을 올렸으며 올해는 올해 500억원을 목표로 하고 있다.

한편, 이번 소송은 캐보트가 지난 2007년 7월 제일모직을 상대로 서울 중앙지법에 특허 침해소송을 제기하면서 시작됐다.

양종석기자 jsyang@etnews.co.kr