국내 최대 소자 장비업체인 세메스가 2년후인 오는 2011년 매출 1조원대를 달성하겠다고 선언했다. 매출 1조원대는 전세계 장비 시장 순위 20위권에 진입하는 수준으로, 우리나라 장비 업체로는 처음이다.
세메스(대표 김형문)는 지난해 국내 장비 업계 최초로 매출액 4000억원대 고지를 넘어선데 이어 오는 2011년 △반도체 △디스플레이 △CVD/엣처 △태양광 등 4개 장비 사업부에서 총 1조원 이상의 매출을 달성할 목표라고 17일 밝혔다. 이를 위해 세메스는 신임 김 사장 취임후 최근 태양광용 박막형 증착장비(CVD)를 개발 완료한 것을 비롯, 국내 처음 반도체 300mm 웨이퍼용 ‘NxD 옥사이드 에처(사진)’ 양신 1호기를 출하했다.
특히 이번에 세메스가 처음 양산하는 옥사이드 에처는 300mm 웨이퍼용으로, 지금까지 국산화가 불가능했던 핵심 공정장비 가운데 하나여서 주목된다. 통상 반도체 1개 라인당 투입되는 옥사이드 에처 장비 금액만 수천억원대에 달하는 고부가가치 제품이기 때문이다. 옥사이드 에처는 반도체 제조설비중 핵심 장비로 웨이퍼 표면의 미세회로 패턴을 필요한 부분만 남기고 절연막 부분을 플라즈마를 이용해 제거해준다. 더욱이 이 제품은 차세대 미세패턴의 식각공정에서 균일도와 특성 제어 기능을 강화하기 위해 세메스가 자체 개발한 전자기 공법을 적용했다고 회사측은 설명했다. 김형문 사장은 “옥사이드 에처를 국내 최초로 국산화함으로써 향후 회사의 외형 성장에 크게 기여할 것”이라며 “태양광 등으로 장비 사업을 적극 확대해 매출 1조원의 글로벌 장비 회사로 반드시 키울 것”이라고 말했다.
서한기자 hseo@etnews.co.kr
