한국과학기술연구원(KIST, 원장 금동화)은 7일 하월곡동 본원에서 세계 최고 수준의 에너지 및 공간 분해 능력을 가진 슈퍼 전자현미경(사진) 가동식 및 심포지움을 개최한다고 밝혔다.
이 장비는 단색(단일 파장) 전자빔을 사용함으로써 0.7 전자볼트(eV) 수준이던 국내 전자현미경의 에너지 분해 수준을 0.15 eV 이하로, 2 옹스트롬(Å, 1Å은 100억분의 1 미터) 수준이던 공간 분해수준을 0.9Å 이하로 낮췄다. 이에 따라 원자 혹은 분자 수준에서 전자구조 특성까지 관찰하고 나노크기 전자소자의 물성을 직접 평가할 수 있게 됐다.
슈퍼 전자현미경과 함께 국내 최초로 나노스케일 전자소자의 전기적 특성 평가를 할 수 있는 나노프로브가 장착된 집속이온빔 장치도 설치됐다.
KIST 측은 “나노스케일의 소자물성을 직접 측정할 수 있게 됨에 따라 차세대 반도체를 연구하는 연구자를 포함한 나노기술 연구자들에게 세계 최고 수준의 분석을 종합적으로 지원할 수 있게 됐다”고 밝혔다.
유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr
