단성일렉, 반도체용 정전척 첫 국산화

전량 해외 수입에 의존해왔던 반도체 제조공정용 정전척(ESC)를 국내 부품 업체가 첫 국산화했다.

반도체·LCD 소모성 부품 전문업체인 단성일렉트론(대표 이현규)은 최근 반도체 장비용 ESC 개발을 완료하고 내년부터 양산에 들어가기로 했다고 23일 밝혔다. 이에 앞서 단성일렉트론은 LCD장비용 ESC도 지난 2006년 국산화에 성공했다.

반도체용 ESC는 식각공정에서 웨이퍼와 하부전극의 간격을 일정하게 유지시키기 위한 필수품이지만, 지금까지 국내 생산업체가 없어 전량 수입해왔다. 올해 전세계 시장규모는 7000억원으로 추산되나. 국내 시장만 2000억원을 넘을 것으로 예상된다. 단성일렉트론은 LCD용 ESC에 적용한 ‘스프레이 코팅’ 기술을 그대로 활용해 반도체용 ESC 개발에 성공했다. 이 회사 나재호 팀장은 “LCD용 ESC 시장에서 쌓은 경험을 바탕으로 조기에 반도체 시장도 석권해 나갈 것”이라고 말했다.

　정전척(ESC)이란 반도체 장비 내부에서 정전기를 이용해 웨이퍼와 하부전극 사이의 간격을 일정하게 유지하는 소모성 부품으로 고부가가치 제품이다. 　

안석현기자@전자신문, ahngija@