국가핵융합연구소(NFRI·소장 신재인 www.nfri.re.kr)는 국내 유일의 ‘핵융합에너지’의 개발 및 핵융합 파생 기술의 확산, 산업화를 추진하는 핵융합 전문 연구기관이다.
NFRI는 지난 9월 완공한 세계적 수준의 핵융합 연구장치인 ‘차세대 초전도 핵융합 연구장치(KSTAR)’의 운영과 핵융합에너지 상용화를 위한 국제프로젝트인 ‘국제핵융합실험로(ITER)’ 공동개발사업(2015년 완공 예정)의 국내 전담기구의 역할을 하고 있는 등 핵융합발전소 건설을 위한 핵심 기술 확보에 주력하고 있다.
이와 함께 플라즈마 응용분야 등 핵융합 파생기술의 확산과 기업화 지원을 통한 관련 산업의 발전의 촉진과 고용 창출이 연구소의 설립 목적이다.
이번 첨단기술사업화대전에서는 반도체 산업에 획기적인 변화를 가져올 대기압 플라즈마를 이용한 반도체 PR 스트리퍼 기술(공정장비)과 활성수 제조기술을 공개한다.
대기압 플라즈마 공정장비는 인라인 시스템화가 가능하고 고가의 진공장비가 필요하지 않기 때문에 초기 투자비용의 절감은 물론 시간당의 생산량 증가 등의 장점을 지니고 있다.
대기압 플라즈마를 이용한 활성수 제조기술은 기존의 농약제거·야채살균 세척 등의 과정에서 화학약품 없이 물을 화학적 활성체로 만들어 화학농약 및 세척제를 대체할 수 있다.
이 밖에도 NFRI에서 연구 중인 플라즈마 기술 응용분야로는 중성입자 빔을 이용한 반도체 제조장비 기술, 핵융합 파생기술을 활용한 브라운가스(수소와 산소 혼합가스)생산 기술 등이 있다.
대전=박희범기자@전자신문, hbpark@
