나노 공정장비개발 한·미 공동연구센터 광주에

광주에 차세대 나노 공정·장비개발을 위한 한·미 공동연구센터가 설립된다.

한국생산기술연구원 광주연구센터(소장 배정찬)는 최근 광주나노기술집적센터(센터장 이종호), 미국 반도체장비업체인 BMR테크놀러지(대표 라윤주), 광주 광학부품제조업체 큐닉스(대표 이창권), 광주시 투자유치기획단 등과 공동으로 차세대 나노 공정·장비 개발을 위한 공동연구센터 설립 협약식을 가졌다.

이번 협약은 지난해 4월 이뤄진 양해각서(MOU) 후속조치로 미국 BMR테크놀러지는 200만달러를 투자해 광주에 차세대 태양전지 모듈개발을 위한 화학증착장비(CVD) 개발을 위한 연구센터를 설립하기로 했다.

또 큐닉스도 광 분배기와 웨이브 가이드, 트리플렉스 개발을 위해 붕소(Boron) 또는 인(Phosphorus)을 함유한 산화막인 보론 포스포러스 실리케이트 글라스(BPSG·Boron Phosphorus Silicate Glass)용 CVD 개발에 10억 원을 투자할 계획이다. 이들 기업은 향후 광주지역에 파일럿 플랜트 (생산공장)를 설립하기로 했다.

이에 따라 광주나노기술집적센터는 두 기업의 공동협력을 위해 클린룸 장비개발 공간 등을 제공하고 나노 공정 및 측정장비 개발을 위한 전담 인력도 지원할 방침이다.

광주나노기술집적센터 관계자는 “미국 BMR테크놀러지 등과 협력해 디스플레이와 반도체 분야의 원천기술 및 장비를 개발할 계획”이라며 “특히 센터가 다음달부터 본격적으로 장비 및 공정지원을 나설 예정”이라고 말했다.

광주=김한식기자@전자신문, hskim@