고품질 박막 제작 `스퍼터 모듈` 개발

경원대 김경환 교수와 구미전자기술연구소 이성호 선임연구원, 다은테크(대표 임경득)가 공동으로 고품질의 박막을 제작할 수 있는 ‘대향 타깃식 스퍼터 모듈’을 개발했다고 3일 밝혔다.

스퍼트 모듈은 LCD에 필수적인 박막(TFT)을 형성시켜주는 진공증착장비의 핵심부품으로 이번 개발로 LCD의 저비용, 고품질화를 꾀할 수 있게 됐다는 평가다.

기존의 박막 제작용 스퍼터 장비는 기판과 타깃이 동일한 플라즈마 공간에 마주보고 있어 플라즈마에 의해 가속된 입자가 기판에 충돌, 증착된 층이 손상되는 단점을 안고 있다. 이에 따라 균일한 박막 층을 만들기 위해 추가 연마공정을 거쳐야하고, 이로 인한 생산단가 상승, 안정적 박막 품질 확보에 어려움이 많았다.

이번에 개발된 기술을 스퍼터 장비에 적용할 경우 플라즈마 특성과 타깃효율을 혁신적으로 향상시켜 저온공정으로도 고품질의 박막증착이 가능하다.

개발진은 국내 특허를 획득했으며, 양산화를 위한 대면적 장치기술도 추가로 특허 출원할 계획이다. 또 현재 국내 디스플레이 대기업에 적용돼 조만간 양산에 활용될 예정이다.

이성호 연구원은 “이번 연구과정에서 고효율의 스퍼터 장비의 캐소드 모듈을 개발하기 위한 설계 및 제작, 시뮬레이션, 성능평가 기술을 확보했다”며 “향후 플렉시블 디스플레이와 태양전지에 활용할 수 있도록 추가적인 개발에 나설 것”이라고 말했다.

대구=정재훈기자@전자신문, jhoon@