뉴파워프라즈마(대표 최대규·사진 http://www.newpower.co.kr)는 신사업으로 시작한 반도체 애셔 장비 사업이 시장에 안착하며 플라즈마 관련 종합 솔루션 업체로의 변신을 서두르고 있다고 27일 밝혔다.
이 회사는 플라즈마 발생 장치 분야의 기술력을 바탕으로 반도체 전공정에서 사용된 감광액을 제거하는 애셔 장비를 개발, 올해 30억원 이상의 매출을 올렸다. 이는 올해 전체 예상 매출의 25%에 해당하는 것이다.
내년에는 300㎜ 공정용 애셔를 중심으로 장비 영업을 확대, 이 부문 매출을 전체의 절반 정도로 높인다는 목표다.
이 회사의 애셔 장비는 페라이트를 사용, 플라즈마 발생 효율을 높인 ‘코어 ICP’ 기술을 활용한 플라즈마 기술로 감광제 제거 속도(ash rate)를 분당 12만회로 향상시켰다. 또 챔버를 복층으로 설계해 장비 크기를 절반으로 줄였으며 플라즈마의 높낮이를 조절, 웨이퍼 손상을 줄이고 작업 효율을 높인 것도 특징이다.
뉴파워프라즈마는 올해 전년 대비 100% 성장한 125억원의 매출을 목표로 하고 있다. 또 27억원을 투자, 본사 인근에 부지를 확보하고 공장 증축에 나섰다. 향후 플라즈마를 이용한 LCD 백라이트 광원 등 플라즈마를 이용한 다양한 제품으로 영역을 넓힐 계획이다.
최대규 사장은 “플라즈마 관련 원천 기술을 바탕으로 고부가가치 제품 개발을 계속할 것”이라고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@
사진설명 - 뉴파워프라즈마의 300㎜ 애셔 장비.
