코미코, 세라믹 소재 ESC 사업 본격화

　코미코(대표 전선규 http://www.komico.com)가 반도체 장비에 쓰이는 세라믹 소재 정전척(ESC:Electro Static Chuck)을 개발, 공급에 들어갔다고 19일 밝혔다.

　이 회사는 질화알루미늄(AlN) 소재 ESC를 중심으로 올해 세라믹 부품 사업을 강화, 올해 이 부문에서 지난해보다 100% 증가한 100억원의 매출을 올린다는 목표다.

　질화알루미늄 ESC는 기존 폴리이미드(PI)나 산화알루미늄 소재의 ESC에 비해 열전도도가 10배 이상 높고 내식성이 좋아 200㎜ 이상의 대형 웨이퍼 공정에서도 변형 없이 사용 가능하다고 회사측은 설명했다. 이 회사는 현재 국내 주요 반도체 업체에 200㎜ 반도체 장비용 제품을 공급하고 있으며 기존 PI 소재 제품에서 세라믹 소재 제품으로 주력을 교체해 나갈 계획이다.

　또 코미코는 300㎜ 공정용 ESC 제작 장비를 도입, 다음달부터 300㎜용 제품 개발에 나서 연말까지 시제품을 내놓는다는 목표다.

　이 회사 한 관계자는 “국내 업체로는 유일하게 직접 소결 공정을 거쳐 제품을 생산한다”며 “일본 제품의 수입 대체 효과가 기대된다”고 말했다.

　ESC는 에처·CVD 장비 등 반도체·LCD 제조 장비의 진공 챔버 내부 기판이 놓이는 곳에 정전기의 힘만으로 기판을 하부 전극에 고정시키는 핵심 부품이다. 현재 시장의 90% 이상을 NGK·신코 등 일본 소재 업체들이 장악하고 있다.

　 한세희기자@전자신문, hahn@