아이티엠, 플라즈마 전원사업 전담법인 `아이티엠파워` 설립

　아이티엠(대표 서용운 http://www.itminc.co.kr)은 박막코팅, 세정 및 표면처리 시스템에 필요한 각종 플라즈마 소스 및 전원장치 사업을 강화하기 위해 기존 ‘플라즈마 전원사업부’를 별도 법인으로 독립, 아이티엠파워를 최근 설립했다고 23일 밝혔다.

　아이티엠파워(대표 김윤택)는 반도체 및 LCD 세정장비용 플라즈마 전원장치를 제조, 주요 장비 업체에 공급할 예정이며 평판디스플레이용 코팅, 세정용 플라즈마 소스를 중점 개발할 계획이다.

　이를 위해 현재 국내 한 소자업체와 반도체용 플라즈마 전원장치에 대한 공동개발을 진행중이다.

　아이티엠파워는 반도체 장비용 플라즈마 발생장비만으로 올해 15억원의 매출을 기록한 데 이어 내년에 이 부분에서만 약 25억원의 매출을 달성한다는 목표다.

　김윤택 대표는 “저온에서 고밀도의 안정된 박막을 형성할 수 있는 다수의 플라스마 소스에 대한 원천 특허를 보유한 것이 회사의 기반이며 박막제조기술에 관한 국가지정연구실로 지정될 만큼 우수한 기술을 보유하고 있다”며 “플라즈마 관련 기술 사업화에 박차를 가할 것”이라고 말했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>