국제엘렉트릭, 삼성에 ADL 장비 공급

　국제엘렉트릭코리아(대표 장재영 http://www.kekorea.co.kr)는 삼성전자와 29억8760만원규모의 배치타입 원자층증착방식 성막(ADL) 장비공급 계약을 체결했다고 3일 밝혔다.

　ADL장비는 0.1미크론 이하급 디바이스 제조용 원자층증착방식 성막장비로 종전의 질화물(Nitride)유전막을 대체할 수 있는 알루미늄옥사이드, 하프늄옥사이드 등의 막종을 형성한다.

　국제엘렉트릭코리아가 삼성전자에 공급할 장비는 이중 알루미늄옥사이드막을 형성하는 제품으로 생산성 및 막의 균일성이 향상되고 장비 유지보수 비용을 낮췄다는 게 회사측의 설명이다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>