50nm급 고집적화 실현…시뮬레이션 툴도
기존 반도체 집적도의 한계를 뛰어 넘는 경제성있는 상용화 단계의 차세대 반도체 소자 원천기술이 개발됐다.
한국전자통신연구원(ETRI) 나노전자소자팀(팀장 이성재 박사)은 정통부 선도기반기술개발사업의 일환으로 기존의 반도체 소자 제조공정을 크게 단순화해 제조 단가와 제작 기간을 단축한 신개념의 반도체 소자 제작기술인 ‘쇼트키 트랜지스터’를 세계 처음 개발했다고 18일 밝혔다.
이 기술은 반도체의 제작기간을 30% 이상 단축시키고 제작 원가를 20%정도 낮출 수 있는 데다 현존 기술의 한계를 뛰어넘는 50nm급의 고집적화를 실현할 수 있어 반도체 주문생산, 그래픽칩, 휴대전화 칩 등 비메모리 산업 전반에 영향을 미칠 전망이다.
ETRI측은 이와 함께 소자의 작동 특성 및 성능을 예측하고 제작된 소자로부터 설계 변수를 추출할 수 있는 정확한 시뮬레이션 툴도 세계 최초로 개발, 하이닉스와 상용화를 위한 공정조정 작업을 진행중이다. 이 기술은 기존의 트랜지스터 제조장비를 그대로 사용할 수 있어 장비의 신규 투자를 최소화할 수 있도록 설계됐다.
연구진은 이 기술에 대해 “오는 2010년께 반도체 소자 집적 능력의 한계치인 0.02마이크론 공정을 극복할 수 있는 기술적 대안이 될 수 있을 것”이라고 기대하고 있다. 현재 쇼트키 트랜지스터와 관련된 국제특허 9건과 국내특허 7건을 출원중이다.
이성재 팀장은 “국내의 취약점인 비메모리 산업이 세계시장 경쟁에서 기술적인 우위를 차지할 수 있는 계기가 될 것”이라며 “특히 반도체의 집적도 한계를 극복할 수 있는 차세대 기술이어서 이번 원천기술 확보로 막대한 기술료 수입이 기대된다”고 말했다.
<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>
