[특집-NANO KOREA 2003]참가업체 소개

　◇ 테라급나노소자개발사업단

　테라급나노소자개발사업단(단장 이조원 http://www.nanotech.re.kr)은 앞으로 5∼10년내에 겪게 될 반도체 제조상의 한계를 극복할 수 있는 대안 기술 개발을 목적으로 한다.

　사업단은 현재보다 1000배의 성능과 메모리 집적도를 갖는 나노소자개발을 목표로 지난 2000년 출범, 2010년까지 총 1700억원의 사업비를 투자한다. 사업단은 21세기 정보화 시대의 궁극적인 목표인 인식 및 추론 가능한 초고집적, 초고속, 초저소비전력의 반도체를 구현을 위한 나노 소자의 연구에 주력하고 있다.

　테라급나노소자개발사업단은 △테라급 나노일렉트로닉스 △나노요소기술 △저항성있는 램(Resistive-RAM) 연구분야를 설정했다. 테라급 나노일렉트로닉스 연구에서는 비휘발성 및 10ns 이하의 초고속 1테라급 메모리소자를 개발한다. 또 20㎓급 나노-CMOS소자와 100㎓급 이상 초고속 소자를 연구한다.

　나노요소기술 분야에서는 △25㎚급 나노 패터닝과 △1㎚급 나노-증착 및 Nano-분석기술 △1테라 bps급 초대용량 광연결 기술을 개발중이다.

　저항성있는 램 분야에서는 비휘발성이며 10∼20ns의 초고속, 초저소비전력의 1테라급 메모리소자를 개발하고 있다.

　사업단은 테라급 반도체를 개발해 메모리 반도체 분야의 세계 1위를 수성하고 메모리 이외의 로직 및 마이크로 등에서 세계 수준의 경쟁력을 확보한다는 계획이다. 또 초미니 슈퍼컴퓨터와 유비쿼터스 컴퓨터, 인식 및 추론 가능 로봇, 3D 가상실현 산업 창출에 기여한다는 전략이다.

　이조원 단장은 “초고집적, 초고속, 초 저 소비전력의 반도체를 구현을 위해서 나노 소자의 연구가 필수적”이라며 “나노소자의 성공 시 초절전, 초고속의 포켓형 초미니 슈퍼컴퓨터에서 사회기반시설, 통신시스템, 자동차, 가전제품 등 산업 전반에 걸쳐 막대한 파급 효과를 가져올 것”이라고 말했다.

　◇ 석경에이티

　석경에이티(대표 임형섭 http://www.sukgyung.com)는 지난 94년 석경화학이란 이름으로 설립된 전자부품용 소재 제조업체다. 불모지에 가까운 국내 소재 발전을 위해 사업초기부터 많은 전자부품용 소재를 자체 기술로 개발해왔다.

　회사의 주생산품은 초미립자(nano) 기술을 이용한 무기계 산화물로 이는 TV나 PC 등의 모니터에 활용돼 화질을 높이고 정전기를 제거하는 역할 등을 한다.

　그동안 연구개발에 주력한 결과, 광통신 부품용 고순도 초미립자 구형 지르코니아 분말제조 기술을 개발했으며 고기능성 초미립자 산화물 제조기술의 정부 과제를 수행했다. 또 고기능성 복합 탄산칼슘 제조기술과제도 성공적으로 마쳤다.

　또 상온경화용 무기질 결합제와 광선택 흡수막 제조용 무기질, 미립자 산화물 중공체 등으로 자체기술에 의한 특허도 3건을 등록한 상태다. 최근에는 일본 현지법인인 세이신사를 활용, 일본에서 개최되는 소재관련 전시회에 4회 제품을 전시하며 일본의 유수기업과 신규제품을 공동개발하는 성과를 얻기도 했다.

　이번 전시회에는 디스플레이, 치관소재, 환경소재 등 다양한 산업에 적용 가능한 나노 파우더와 분산성이 뛰어난 솔(sol) 등을 선보일 예정이다. 또한 다양한 입자크기 제어가 가능한 구형 실리카파우더, 브라운관 코팅제로 사용되는 SG-MB215 등을 소개한다.

　◇ 나노종합팹센터

나노종합팹센터(단장 오계환 한국과학기술원 교수)는 나노소자와 NEMS, 물리원천, 화학생물, 구조제작 등 나노기술을 종합적으로 연구개발할 수 있는 최첨단 시설이다.

　2002년부터 2010년까지 총 1970억원이 투자돼 3단계에 걸쳐 나노소자 제작 및 시험, 분석, 측정, 가공에 필요한 나노관련 고가의 연구장비를 일괄확보해 산·학·연 연구주체가 공동활용하는 종합연구시설로 구축된다.　

　센터는 또 나노시설을 활용한 교육과 실험교육을 통한 인재를 양성에 적극 나설 계획이다. 나노종합팹센터는 산·학·연 연구소를 이용한 첨단NT 연구환경 제공 및 신 나노소자와 소재연구를 위한 장비를 개발하게 된다.

　구축되는 팹의 구조는 △나노파이 랩 △나노소자 랩 △나노패턴 랩으로 구성된다. 나노파이 랩은 아이디어 발현 및 검증을 통한 원천기술 확보를 목적으로 한다. 이 랩은 생물화학 분자 결합과 원자조작을 통한 물리 원천, 특성평가 등의 연구를 수행할 수 있는 서비스가 제공된다.

　나노소자 랩은 규격 웨이퍼(wafer)를 이용해 일괄공정을 할 수 있는 서비스 라인이다. 이 랩은 나노파이 랩에서 구현된 유용한 기술 및 제품을 산업화할 수 있는 공정서비스를 제공한다.

　나노패턴 랩은 나노파이 랩의 공정을 일괄공정화해 원천기술을 신속히 산업화로 연결시키는 신개념 체계를 구축하게 된다.

　이에 따라 나노종합팹센터는 센터가 완공되는 내년 말을 기점으로 나노관련 기술의 아이디어에서 시제품 제작에 이르기까지 모든 연구개발 지원이 원스톱으로 이뤄지는 종합팹 기능의 구현이 가능해진다.

　김대희 나노종합팹 본부장은 “나노기술이 IT·BT·ET 등 여타 기술분야에 미치는 파급효과가 엄청나게 크다”며 “국가 나노기술 개발의 중심센터가 될 것”이라고 말했다.

　

　◇ 일진나노텍

　일진나노텍(대표 최규술 http://www.iljinncnt.com)은 나노기술 영역의 기반소재인 탄소나노튜브 전문 생산업체다.

　국내 최초로 탄화수소 가스를 기체상의 촉매입자를 이용해 열분해시키는 방법으로 탄소나노튜브를 저가에 대량 합성할 수 있는 기술을 개발, 상업화에 성공했다.

　탄소나노튜브는 미세한 크기, 우수한 전기기계적 특성, 뛰어난 전계방출능력 등으로 완전한 나노물질로 각광받고 있지만 대량합성이 어렵다는 점이 상업화와 응용제품 개발에 걸림돌이었다는 점을 감안하면 일진나노텍은 이 분야에서 세계적인 경쟁력을 갖춘 셈이다.

　이 때문에 국내 나노소재업체로는 드물게 연매출 10억원을 돌파했으며 수출규모도 연 2만달러를 넘어섰다.

　이 회사가 개발한 탄소나노튜브는 지구상에 다량으로 존재하는 탄소로 이루어진 탄소동소체로서 하나의 탄소가 다른 탄소원자와 육각형 벌집무늬로 결합되어 튜브형태를 이루고 있다. 튜브의 직경이 나노미터 수준으로 가장 작은 직경의 나노튜브는 머리카락의 10만분의 1 정도에 불과하다.

　이 제품은 우수한 전자방출 능력으로 차세대 디스플레이 소재와 전자파 차폐재, 2차전지 및 연료전지 음극재료 등에 응용될 수 있으며 테라급 반도체 등의 저장매체, 초미세 메카트로닉스 나노 바이오 분야 등에도 사용될 수 있다.

　◇ 나노메카트로닉스기술개발사업단

나노메카트로닉스기술개발사업단(단장 이상록 http://www.nanomecca.re.kr)은 과기부 21세기 프론티어 연구개발사업의 일환으로 지난해 7월 발족했다.

　오는 2012년 6월까지 10년간 사업비 1286억원의 예산으로 운영될 이 사업단은 나노기술 산업화를 위한 나노공정기술 개발에 전력투구할 예정이다.

　대량 고속으로 생산하면서도 가격경쟁력도 갖춘 나노 단위의 극미세 산업용 부품을 제조하기 위한 나노공정기술 및 장비개발을 위한 기술 확보를 목표로 하고 있다.

　사업단은 2004년까지 나노메카트로닉스 기반기술 및 인프라를 구축하고 2007년에는 나노메카트로닉스 응용기술을 개발할 계획이다. 또 2008년부터 2011년까지는 개발한 기술을 바탕으로 본격 사업화를 위한 아이템을 발굴한다는 단계별 목표를 세워놓고 있다.

　이 과정에서 회로선폭 공정기술은 100㎚, 50㎚, 10㎚ 등으로 점점 미세화해나간다는 전략이다.

　이번 전시회에서는 △나노공정 △정보저장 및 광전자 △나노장비 △나노바이오 △나노측정 등 기반기술 분야의 연구 성과를 소개할 계획이다.

　주요 제품으로는 정보저장 및 광전자기술 분야에 패턴미디어와 DVD 스탬퍼, 나노장비 기술분야에 나노패터링 공정장비에 필요한 스테이지 및 수직정렬장치 등이 있다. 또한 나노측정기술분야에 나노스케일 물성치 측정 및 분석장치 등도 선보일 예정이다.　

　◇ 나노테크

지난 1999년 충북 오창에 설립된 나노테크(대표 우용원 http://www.nanopowder.co.kr)의 주생산품은 나노초경합금분말이다.

　이 분말은 PCB드릴, 엔드 밀, 나이프 등 향상된 내마모특성이 요구되는 분야에 사용된다. 이 회사의 나노초경합금분말은 자체 개발한 특수공정을 통해 초경분말(WC) 입자의 미세화 및 코발트(Co) 상의 균질도를 극대화했다. 이에 따라 경도(hardness), 인성(toughness), 내마모성(wear resistance) 등 최종 소재 특성의 동시 향상이 가능해졌다.

　나노테크서 제조한 초경합금분말은 제품의 구조가 기존 제품에 비해 훨씬 미세하다. 입자 크기가 줄어들면 경도 및 내마모성이 증가한다. 또 코발트의 혼합도가 우수해 높은 인성을 나타내는 장점이 있다.

　나노테크는 설립 1년 만인 지난 2000년 R&D센터를 개소, 연구분야에 과감한 투자를 하고 있다. 이에 따라 이 회사의 초미립초경분말 제조기술은 과학기술부가 선정한 20세기 100대 기술에 뽑히기도 했다.

　현재 나노기술과 관련해 이 회사가 보유하고 있는 특허는 총 7개. 이 가운데 4개는 미국·일본 등 해외서 특허등록된 기술이다. 또 나노테크는 한국기계연구원, KAIST 등과의 공동개발을 통해 최근 ‘초미립 TiC-천이금속계 복합분말제조법’ 등 4개 나노 관련 기술을 한국과 일본 특허청에 출원해 놓고 있다.