상하이심구이, 중국 첫 SOI 웨이퍼 공장 가동

　상하이심구이테크놀로지가 중국에서는 처음으로 상용 실리콘온인슐레이터(SOI) 웨이퍼 공장을 가동했다고 EE타임스가 보도했다.

　상하이심구이는 상하이에 있는 새 공장에서 내수 및 수출용 SOI 웨이퍼를 출하하기 시작했다. 이 회사의 웨이퍼는 미 아이비스테크놀로지의 SIMOX(Separation by Implantation of Oxygen) 기술에 기반을 두고 있다.

　이 회사의 총괄매니저 보인 루이스 리는 “지난 2001년 아이비스로부터 SIMOX 가능 이온 주입기와 예비 부품 500만달러치를 주문했었다”며 “상하이 새 공장에 장비를 설치, 연간 3만장의 SOI 웨이퍼를 처리할 수 있다”고 말했다.

　그는 그러나 아이비스가 첨단 SOI웨이퍼와 장비를 판매하고 있는 반면 자사는 구세대 웨이퍼를 판매하고 있다는 점을 들어 “아이비스와는 경쟁하지 않는다”고 밝혔다.

　상하이심구이는 현재 4인치와 6인치 웨이퍼를 판매하고 있다.

　<황도연기자 dyhwang@etnews.co.kr>