마이크론·하이닉스, 300㎜ 웨이퍼 파일럿라인 투자 앞당긴다

　D램업체들이 300㎜ 웨이퍼 시험생산라인(파일럿라인)에 대한 투자를 서두르고 있다.

　28일 업계에 따르면 미국 마이크론테크놀로지와 하이닉스반도체는 300㎜ 웨이퍼에 대한 연구개발과 시험제품을 생산할 파일럿라인 투자를 당초보다 앞당기는 계획을 추진중인 것으로 알려졌다.　

　이같은 계획은 본격적인 양산투자에 앞서 양산기술을 조기에 확보함으로써 300㎜ 웨이퍼 시대에 대응하기 위한 것으로 풀이된다. 또 투자여력이 없는 상태에서 막대한 자금이 소요되는 양산투자보다는 시장상황에 따라 유연하게 대응하는 안정적인 투자전략으로 받아들여진다. 마이크론은 최대 3억5000만달러를 들여 아이다호 본사 공장에 300㎜ 웨이퍼에 대한 파일럿라인을 내년중 신설하기로 결정했다. 하이닉스도 이르면 2003년초 가동을 목표로 청주공장에 300㎜ 웨이퍼 파일럿라인을 신설하기로 잠정 결정했다.

　두 회사는 그러나 본격적인 300㎜ 웨이퍼 양산라인 투자에 대해서는 관련기술과 투자재원을 확보하고 시황도 호전될 2003년 하반기나 2004년께로 잡고 있다.

　마이크론의 300㎜ 파일럿라인은 기존 라인의 3분의 1 규모로 0.11미크론 이하의 공정기술과 구리배선기술을 적용할 예정이다. 이 회사는 파일럿라인이 들어설 건물과 관련시설 투자에 2억달러를, 제조장비 투자에는 최대 1억5000만달러를 투입해 투자비를 최소화할 계획이며 이를 통해 양산기술을 확보, 이르면 2003년께 양산투자에 들어갈 방침이다.

　하이닉스도 내년 2분기 또는 3분기중 관련장비를 입고, 연말께 파일럿라인을 구축할 예정이다. 이 회사도 이 파일럿라인을 통해 시험생산한 후 2003년 상반기중 웨이퍼 투입량 5000장 규모의 준양산라인으로 전환할 방침이다.

　한편 D램업체로는 처음 300㎜ 웨이퍼 생산에 들어간 삼성전자는 본격적인 양산시점을 내년말께로 보고 투자계획을 잡고 있으며, 독일의 인피니온테크놀로지는 최근 미국공장에 대한 300㎜ 라인 신설계획을 보류했으나 독일 드레스덴의 전용 생산라인 신설계획을 예정대로 추진하기로 했다.　

　<신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>