그린 반도체장비 출시 붐

반도체제조용 장비업계가 환경친화형 장비를 속속 선보인다.

업계에 따르면 전세계 반도체업체들의 과불화탄소(PFC)가스 배출 축소결의 등 환경친화형 공정도입에 관한 관심도가 증대되자 국내 장비업체들이 대응 제품을 개발하고 시장개척에 적극 나서고 있다.

케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr)은 지난해말 배출가스분쇄기와 흡착기를 복합화한 PFC 플라즈마 소형 스크러버를 개발해 삼성전자에 시험공급한 데 이어 대형 스크러버 개발에 착수했다.

이 회사는 반도체 및 액정표시장치(LCD) 제조공정중에 발생하는 유해가스를 정화처리하는 이 장치의 수요가 지난해의 2배 가량으로 성장할 수 있을 것으로 보고 이 분야의 매출을 지난해 79억원에서 133억원으로 늘려 잡았다.

반도체 제조공정용 가스공급장비 생산업체인 아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 최근 번(burn) 및 습식(wet)방식 가스 스크러버, 건식(dry)방식 가스 스크러버, PFC 가스 스크러버 등 3종의 가스정화장치를 개발하고 가스정화장치 사업에 신규 진출했다.

이 회사는 번 및 습식, 건식 등 2종 스크러버에 대해 각각 사내시험과 실장시험 작업을 마치는대로 5월말과 7월말 이후 시판에 나서고 PFC 스크러버는 10월 이후부터 판매해 내수 및 수출에서 최소 13억원의 신규 매출을 올릴 계획이다.

또 이 회사는 하반기중에 제조공정에 사용된 PFC 가스를 포집, 정제, 압축한 후 재활용할 수 있도록 해주는 PFC 가스재생장치의 개발에도 착수하기로 했다.

아큐텍반도체기술(대표 김무 http://www.acqutek.co.kr)은 지난해 하반기 국내외에 특허출원한 금, 은, 제3물질 등의 삼원합금 도금기술(acqutek plating)의 보급을 위해 최근 칩트론과 전략적 제휴를 체결하는 등 마케팅 강화에 나서 올 하반기에 96억원의 매출을 올릴 계획이다.

이밖에도 메디오피아인터내셔날(대표 장일홍 http://www.mediopia.co.kr)은 고온 플라즈마 기술을 이용해 PFC 배출가스를 분해하는 정화장치를 개발, 성능평가작업을 마치고 이르면 6월, 늦어도 7월부터 시판할 예정이며 지난 2월에 PFC 플라즈마 스크러버를 개발한 플라즈마테크놀로지(대표 우부형 http://www.plasma-tech.co.kr)도 성능평가작업이 마무리되는 오는 6월부터 내수 및 수출시장을 공략한다는 계획이다.

<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>