코삼, 삼성전자서 칠러장비 수주

반도체 제조용 냉각장비업체인 코삼(대표 김범용 http://www.cosam.co.kr)은 삼성전자로부터 17억3900만원 규모의 칠러(chiller) 물량을 수주했다고 14일 밝혔다.

칠러는 반도체 공정 중 식각공정에서 웨이퍼의 표면을 화학적·물리적으로 식각할 때 체임버내에서 발생하는 열을 제어, 양질의 웨이퍼를 생산하기 위한 자동온도조절장치다.

코삼은 이번 계약에 따라 칠러를 각각 오는 3월과 5월까지 납품할 예정이라고 설명했다.

<김인구기자 clark@etnews.co.kr>