창민테크, 웨이퍼·LCD 표면저항 측정장치 공급

창민테크(대표 남상용 http://www.changmin.co.kr)는 최근 국내 반도체·액정표시장치(LCD) 제조업체들에 10억원 규모의 웨이퍼 표면저항 측정장치(모델명 SR2000N)와 LCD용 측정장치(SR3000)를 공급했다고 2일 밝혔다. 또한 대만의 심텍 및 모토로라 영국공장, 독일·프랑스·스위스의 반도체 소자업체에 3억원어치의 측정장치를 수출했다고 덧붙였다.

이 회사가 한국표준과학연구원과 공동 개발해 공급하는 이 제품은 프로브(probe)를 이용해 최대 12인치 크기의 웨이퍼 및 LCD(최대 600×720㎜) 박막의 저항과 면저항, 비저항을 정밀하게 측정할 수 있는 장치다.

인라인과 간이형 등 두가지 모델로 구성된 이 장치는 또 전용 소프트웨어를 이용한 데이터 다운로드 및 2차원·3차원 맵(map)등 다양한 데이터 분석기능과 원격조정 구현이 가능하다. 이외에 표면저항 범위는 1mΩ/sq∼2㏁/sq 이며, 측정 정확도는 0.5%(VLSI 웨이퍼의 경우)다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>