[SEDEX KOREA 2000]반도체산업협회장상-한국DNS

★300mm 웨이퍼용 스핀에처

반도체장비 전문업체인 한국DNS(대표 박창현)는 300㎜ 웨이퍼용 스핀에처(SPE300S)로 반도체산업대전기술개발경진대회 연구부문 협회장상을 받았다.

SPE300S는 기존 배치방식보다 초미세화된 웨이퍼 배선 제조공정에 적합토록 매엽식 처리방식을 채택한 것이 특징이다. 따라서 이 제품은 입자오염이 적고 온도균일성이 어느 장비보다 우수한 특성을 지니고 있다.

전세계적으로 이같은 기술을 가진 회사는 오스트리아의 SEZ 1개사뿐이다.

이번 개발로 DNS측은 그동안 SEZ사가 거의 독점해온 IBM·인텔·NEC 등 세계 반도체시장에 진출, 매출신장을 이룰 것으로 기대하고 있다.

한국DNS의 박창현 사장은 『반도체 공정에서 세정기가 차지하는 비중이 20% 이상 증가할 것으로 예상된다』면서 『오는 2001년부터 300㎜ 웨이퍼가 본격적인 양산체제로 들어갈 것』이라 말했다.

그는 또 대대적인 웨이퍼 교체시기에 맞춰 300㎜ 웨이퍼용 에칭장치가 국산화됨으로써 그동안 취약했던 반도체 세정기 시장을 다시 탈환할 수 있을 것으로 내다봤다.

SPE300S 개발에 성공한 한국DNS는 300㎜ 웨이퍼의 반도체 장비기술 개발로 인해 앞으로 오는 2004년까지 1250억원의 수입대체효과는 물론 반도체투자가 활발한 대만 등 해외시장까지 넘볼 수 있을 것으로 예상하고 있다.