삼성전자·현대전자·LG실트론과 씨앤에스테크놀로지·CATS·신성ENG 등 6개사가 올해 처음 실시된 「반도체 기술개발 경진대회」에서 우수상을 수상했다.
이 경진대회는 산업자원부가 반도체 연구개발을 장려하기 위해 연구와 제품 두 부문에 걸쳐 시상하는 행사로 지난 9월 신청 접수를 받아 이달 최종심사를 거쳐 수상자를 선정했다.
연구부문 우수상인 산업자원부 장관상에는 △삼성전자의 4M F램 △현대전자의 불화아르곤(ArF)용 감광액 △LG실트론의 저결함 웨이퍼가 차지했다.
제품부문 우수상은 △씨앤에스테크놀로지의 영상전화기 칩세트 △CATS의 반도체 소자분석기 △신성ENG의 300㎜ FOUP 오프너 및 FIMS 로더시스템이 수상했다.
또 반도체산업협회장상으로는 연구부문에서 △인하대의 다층배선 인터커넥트 파라미터 추출 소프트웨어 △한국전자통신연구원의 리소그래피 공정의 초점 심도 확장기술 △한국DNS의 300㎜ 웨이퍼용 스핀에처가, 제품부문에서는 △파이손테크의 반도체 설계용 레이아웃 이식 자동화 소프트웨어 △아이앤씨테크놀로지의 StarCI 칩 △태석기계의 엔캡슐레이션 디스펜서가 수상했다.
시상식은 25일부터 학여울 서울무역전시장에서 개막하는 「한국반도체산업대전(SEDEX) 2000」의 리셉션장에서 열린다.
산업자원부의 관계자는 『국내 반도체 기술력을 향상시키고 장비·재료 등 저변산업을 육성하기 위해 이번 경진대회를 실시했으며 앞으로 국무총리상이나 대통령상으로 격상시킬 방침』이라고 말했다.
다음은 수상자 명단
<산업자원부 장관상>
◇연구부문 △삼성전자 김기남, 이상영, 박순오 △현대전자 정재창, 정민호, 이근수, 복철규, 고차원 △LG실트론 이홍우, 최준영, 조현정
◇제품부문 △씨앤에스테크놀로지 강병훈, 이승호, 김승일 △CATS 박종식, 정해용, 백왕기, 이상구 △신성ENG 이완근, 김용표, 김병조
<반도체산업협회장상>
◇연구부문 △인하대 원태영 △한국전자통신연구원 정혜빈, 김도훈, 이각현, 정의민 △한국DNS 유하상, 방인호, 김학현
◇제품부문 △파이손테크 이윤식, 김용배, 이기중, 곽성훈 △아이앤씨테크놀로지 박창일, 최용일, 최재식 △태석기계 이성노, 황태상, 고재명
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