아뎁트테크놀로지, 웨이퍼 이송 로봇 국내 출시

아뎁트테크놀로지인터내쇼날(대표 이중엽)이 웨이퍼 자동정렬 및 검사·공급장치 2개 기종(모델명 FFE-200/300)을 공급한다고 6일 밝혔다.

이 제품은 모듈 형태의 소형·중저가로 200·300㎜ 웨이퍼를 반송, 정렬해주는 비전/OCR 기능을 보유하고 있다. 또 자동 소팅과 SMIF(Standard Mechanical InterFace) 기능을 갖고 있어 공정시간을 단축할 수 있다.

이 가운데 FFE-200 모듈은 4개의 SMIF 포트를 두는 등 SMIF 기능을 강화해 로봇의 오작동을 최소화했으며 FFE-300 모듈은 200㎜ 웨이퍼뿐만 아니라 앞으로 300㎜ 웨이퍼에도 적용할 수 있도록 설계됐다.

이밖에도 이 제품은 자사의 컨트롤러인 AWC 1대로 터닝 유닛과 FOUP 오프너를 동시에 제어할 수 있으며 28개의 멀티태스킹 기능도 갖고 있다.

<허의원기자 ewheo@etnews.co.kr>