에이스랩, 클린룸내 미량가스검출센서 개발

반도체 환경측정 및 제어시스템 전문업체인 에이스랩(대표 김광열 http://www.acelab.co.kr)은 반도체 클린룸의 공기중 오염원을 극미량까지 연속 측정하는 미량가스검출센서(모델명 AMS-2000)를 개발했다고 10일 밝혔다.

에이스랩이 3년의 연구기간을 걸쳐 개발한 미량가스검출 센서는 반도체 제조공정에서 나오는 암모니아 등 무기산성가스 7종을 약 10억분의 1 수준의 정밀도로 동시 측정할 수 있다.

이 가스검출센서는 유해가스를 냉각 응축하는 샘플링방식과 이온크로마토그래피(I.C), 이온 선택성전극(ISE) 검출방식을 채택, 가스측정 정밀도를 구형제품의 ppb(part per billion)급보다 한단계 높은 서브 ppb 수준으로 향상시켰다.

이 회사는 현재 국내 반도체 생산업체를 대상으로 활발한 영업활동을 펼쳐 약 17대의 미량가스검출 센서 공급계약을 진행중이며 일본, 대만 등 해외업체에 대한 수출상담도 적극 나서고 있다.

에이스랩은 앞으로 반도체 생산수율과 가장 밀접한 연관성을 지닌 대기중 오염가스 측정센서를 개량해 박막트랜지스터 액정표시장치 (TFT LCD), 하드디스크 등 정밀기기 및 생명공학산업 분야에 적용가능한 후속제품을 개발할 계획이라고 말했다.

<배일한기자 bailh@etnews.co.kr>