주성엔지니어링, TFT LCD용 CVD 국산화 성공

반도체 제조 전공정 전문업체인 주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.j seng.com)은 지난 1년동안 100억원을 투입, 국내 처음으로 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)용 화학증착(CVD) 공정장치의 국산화에 성공했다고 3일 밝혔다.

대당 70억∼80억원 정도인 이 TFT LCD용 CVD장치의 전세계 연간 시장규모는 3억달러로 추산되고 있으며, 그동안 미국의 어플라이드머티리얼스가 거의 독점공급해왔다.

이번에 개발한 TFT LCD용 CVD장치는 현재 사용중인 유리기판의 최대 크기인 730×920㎜용 공정 체임버(Chamber)를 장착했으며, 필요한 공정에 따라 체임버의 종류와 개수를 구성하는 클러스터(Cluster) 타입을 채택해 한 체임버에서 3가지 막을 동시에 증착할 수 있는 것이 특징이다.

이 CVD장치는 또 복잡한 구조의 샤워헤드 대신 인젝터를 사용, 오염요소를 최소화했으며 유지보수가 용이하도록 제작됐다. 아울러 두께 0.7㎜의 유리기판을 별도의 예열과정 없이 해당 체임버에서 예열 가능해 공정시간을 절감, 생산성을 향상시킬 수 있다. 특히 플라즈마(Plasma) 소스를 이용한 세정작업은 화학세정 빈도를 줄여 유지보수에 필요한 시간을 줄여준다.

이영곤 영업담당 이사는 『이번 TFT LCD용 CVD장치는 외산 장비보다 부품 국산화율이 높아 제작 단가가 낮다』면서 『현재 국내 소자업체가 730×920㎜ 유리기판시장을 주도하고 있기 때문에 국내는 물론 해외 매출도 무난히 달성할 수 있을 것으로 보이며 올 하반기부터 본격 매출을 예상하고 있다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>