美램트론 인터내셔널, "박막필름 처리" 공장 설립

　미국 램트론 인터내셔널사는 콜로라도 스프링스에 클래스 10 수준의 클린룸을 갖춘 「램트론 신필름 파운드리(RTFF)」란 공장을 설립, 반도체 업체를 대상으로 박막필름 처리 전문 파운드리(Foundry) 서비스를 제공할 계획이라고 19일 밝혔다.

　RTFF는 페로일렉트릭(Ferroelectric) 박막 필름의 디포지션 및 스트럭처링 전문 서비스를 제공하며, 페로일렉트릭 요소 CMOS 레이어의 인터커넥션과 패시베이션까지 처리할 수 있는 시설을 갖고 있다.

　이 공장에서는 반도체 메모리에 사용되는 페로일렉트릭 박막필름과 압전(Piezoelectric) 및 초전(Pyroelectric) 소자 및 기타 애플리케이션 제조공정에 필요한 일반 및 주문형 서비스를 제공할 예정이다.

　톰 데이븐포트 램트론 부사장은 『램트론 페로일렉트릭 메모리 개발과정을 통해 LZT(Lead Zirconate Titanate), SBT(Strontium Bismuth Tantalate), 플래티늄 등 희귀물질을 처리하는 데 많은 경험을 축적하게 됐다』며 『이들 물질이 갖고 있는 여러 가지 장점을 고객과 공유할 수 있게 되기를 기대한다』고 밝혔다.

함종렬기자 jyham@etnews.co.kr