주성엔지니어링, 반도체장비 첫 해외제휴

　반도체 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 국내 장비업체로는 처음으로 외국 유력 반도체 장비업체와 전략적 제휴를 맺었다.

　이 회사는 최근 전공정 장비 전문 생산업체인 일본진공기술(ULVAC Japan)과 차세대 반도체 장비 개발 및 세계 시장공략을 위한 전략적 제휴 관계를 체결하고 반도체 금속 배선용 공정장치의 공동 개발에 합의했다고 밝혔다.

　이번 제휴로 주성엔지니어링과 일본진공기술은 물리증착(PVD) 및 화학증착(CVD) 관련 첨단기술을 공유하며 고집적 반도체 소자의 다층 배선 구조에 대응한 메탈용 공정장치를 공동으로 개발, 생산하게 된다.

　또한 향후 개발될 장치의 제조·판매권은 일본 지역에서는 일본진공기술이, 국내는 주성엔지니어링이 갖게 되며 다른 외국 지역에 대해서는 현재 협의중이다.

　이에 따라 양사는 플랫폼과 소프트웨어 개발에 관한 기술 표준화 작업을 이미 진행중이며 이르면 오는 10월까지 연구라인용 장비를 출하하고 금속 배선용 공정장치의 양산라인 채용이 확실시되는 내년부터는 본격적인 장비 양산에 착수할 계획이다.

　주성엔지니어링의 한 관계자는 『이번 전략적 제휴로 양사는 반도체 증착 관련 토털 솔루션을 확보, 다른 회사와의 경쟁 관계에서 비교우위에 설 수 있는 강력한 기술력을 갖추게 됐으며 향후 세계 시장 석권을 목표로 한 양사의 보다 적극적이고 광범위한 협력방안도 현재 마련중』이라고 밝혔다.

　이번 제휴 대상인 일본진공기술은 CVD 및 PVD 장비와 LCD용 각종 장치를 주력 생산하고 있는 전공정 장비 전문업체로 현재 전세계 반도체 증착장비 시장에서 약 20%의 점유율을 확보하고 있다.

　또한 지난 93년 설립된 주성엔지니어링은 국내 최초로 반도체용 저압화학증착(LPCVD)장비인 「유레카2000」을 개발, 지난해 500억원 이상의 매출을 올린 데 이어 올해는 1000억원 이상의 매출달성을 목표로 하고 있는 반도체 장비 전문 벤처기업이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>